Исполнитель: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук
Наименование разработки: Эллипсометры (ex-situ и in-situ конструктивы)
Назначение разработки, решаемые задачи: Предназначены для измерений толщин тонких пленок и контроля оптических постоянных и структурных свойств широкого класса материалов: полупроводников, диэлектриков и металлов
Стадия разработки: Экспериментальные образцы
Обеспеченность сырьём и комплектующими: Поставки из Китая, ЕС, США
Обеспеченность научным и другим оборудованием: Обеспечены
Наличие инжиниринговой проработки и зарегистрированных РИД: Имеются
Контактная информация:
630090, г. Новосибирск, пр. Ак. Лаврентьева, 13
Телефон: +7(383) 330-90-55, Факс: +7(383) 333-27-71